X射线荧光测厚仪的工作原理如图4-38所示,由X射线罩、安全阀门、准直器、X射线、计数器等部分组成。

   X射线荧光测厚仪的工作原理如图4-39所示。其采用高能X射线轰击样品表面,被测M0516LAN样品表面产生二次X射线(X光荧光),由于X光荧光谱线为各种元素所特有,通过对X光荧光谱线的收集和分析,以其波长确定所测元素,根据其光的强度和能量可以确定镀层的厚度。    图⒋39 X射线荧光测厚仪的工作原理

    K层电子被击出时,原子系统能量由基态升到K激发态,高能级电子向K层空位填充时产生K系辐射。L层电子填充空位时,产生踟辐射;M层电子填充空位产生Kβ辐射。原子受到X射线的激发,会使原子内层电子电离而出现空位,原子内层电子重新配位,较外层的电子

跃迁到内层电子空位,并同时放射出次级X射线光子,此即X射线荧光。较外层电子跃迁到内层电子空位所释放的能量等于两电子能级的能量差,不同元素电子跃迁的能量是不同的,因此,X射线荧光的波长也对不同元素是不同的,根据元素X射线荧光特征波长对元素做定性分析,可知是何种元素;根据元素释放出来的荧光强度,进行定量分析,可知元素厚度、含量等。