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导电载流子和金属离子间互相碰撞发生动量交换而使离子产生远动的力

发布时间:2019/4/20 19:26:58 访问次数:1217

    AA2214QBS/D

  

   在一定温度下,金属薄膜中存在一定的空位浓度,金属离子通过空位而运动,但自扩散只是随机地引起原子的重新排列,只有受到外力时才可产生定向运动。通电导体中作用在金属离子上的力F有两种:一种是电场力F。,另一种是导电载流子和金属离子间互相碰撞发生动量交换而使离子产生远动的力,这种力叫摩擦力F。。对铝、金等金属膜,载流子为电子,这时电场力F。很小,摩擦力起主要作用,离子流与载流子运动方向相同。这一摩擦力又称“电子风”。

      同样,当线宽比材料晶粒直径大时,线宽越大,引起横向断条的空洞形成时间越长,寿命增长。但当线宽降到与金属晶粒直径相近或以下时,断面为单个晶粒,金属离子沿晶粒界面扩散减少,随着条宽变窄,寿命也会延长,当电流恒定时,线宽增加,电流密度降低,本身电阻及发热量下降,电迁移效应就不显著。如果线条截面积相同,条件允许,增加线宽比增加厚度的效果要好。

     在台阶处,由于布线形成过程中台阶覆盖性不好,厚度降低,J增加,易产生断条。由tMTF的公式可知,金属膜的温度及温度梯度(两端的冷端效应)对电迁移寿命的影响极大,当J >106 A/cm2时,焦耳热不可忽略,膜温与环境温度不能视为相同。特别是,当金属条的电阻率较大时,影响更明显。条中载流子不仅受晶格散射,还受晶界和表面散射,其实际电阻率高于该材料体电阻率,使膜温随电流密度-,增长更快。  从统计观点来看,金属条是由许多含有结构缺陷的体积元串接而成的,而薄膜的寿命将由结构缺陷最严重的体积元决定。若单位长度的缺陷数目是常数,随着膜长的增加,总缺陷数也增加,所以膜条越长寿命越短,寿命随布线长度而呈指数函数缩短,某值处趋近恒定。



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   在一定温度下,金属薄膜中存在一定的空位浓度,金属离子通过空位而运动,但自扩散只是随机地引起原子的重新排列,只有受到外力时才可产生定向运动。通电导体中作用在金属离子上的力F有两种:一种是电场力F。,另一种是导电载流子和金属离子间互相碰撞发生动量交换而使离子产生远动的力,这种力叫摩擦力F。。对铝、金等金属膜,载流子为电子,这时电场力F。很小,摩擦力起主要作用,离子流与载流子运动方向相同。这一摩擦力又称“电子风”。

      同样,当线宽比材料晶粒直径大时,线宽越大,引起横向断条的空洞形成时间越长,寿命增长。但当线宽降到与金属晶粒直径相近或以下时,断面为单个晶粒,金属离子沿晶粒界面扩散减少,随着条宽变窄,寿命也会延长,当电流恒定时,线宽增加,电流密度降低,本身电阻及发热量下降,电迁移效应就不显著。如果线条截面积相同,条件允许,增加线宽比增加厚度的效果要好。

     在台阶处,由于布线形成过程中台阶覆盖性不好,厚度降低,J增加,易产生断条。由tMTF的公式可知,金属膜的温度及温度梯度(两端的冷端效应)对电迁移寿命的影响极大,当J >106 A/cm2时,焦耳热不可忽略,膜温与环境温度不能视为相同。特别是,当金属条的电阻率较大时,影响更明显。条中载流子不仅受晶格散射,还受晶界和表面散射,其实际电阻率高于该材料体电阻率,使膜温随电流密度-,增长更快。  从统计观点来看,金属条是由许多含有结构缺陷的体积元串接而成的,而薄膜的寿命将由结构缺陷最严重的体积元决定。若单位长度的缺陷数目是常数,随着膜长的增加,总缺陷数也增加,所以膜条越长寿命越短,寿命随布线长度而呈指数函数缩短,某值处趋近恒定。



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