当系统开始运行时,首先判断系统是否达到稳态,即在3个加工模块中是否有待加工的晶圆, K9F8G08UOM-PCBO而判断加工模块内和机械手中是否含有晶圆,采用对象⒐nglCProc的属性occupicd和clllp~进行判断,例如,PMi,occupicd表示PM氵中有晶圆,而robot1,empty表示robot1无晶圆。若系统满足触发条件时,机械手在不同的加工模块之间旋转或从真空锁旋转到加工模块,这个旋转的时间由指令wait控制。当机械手旋转至相应的加工模块时,要判断其内的晶圆是否加工完毕,可用移动对象Ent”的自带属性丘血shed来定义,,∞nt代表正在某模块中加工的晶圆,则语句pmi.∞nt。丘ni血ed的含义是晶圆在加工模块PM氵中完成该工序的加工。若晶圆未完成加工,机械手要等待其加工完成,该操作由中断执行命令waitLlntil实现,程序为wai咖1til pmi。∞nt。丘ni血ed pⅡo1。当晶圆加工完第3道工序时,要设置晶圆是否进行重入加工,该流程由变量刀来控制,刀=2时进入重入加工,刀=3时晶圆完成整个加工过程,进而储存于真空锁中。机械手旋转、卸载和装载作业由mc,ve指令控制,如rob。t2。cont。mor(pm1)代表机械手2中的晶圆装载至PM1,p奶.∞llt,mαe(robod)表示将PM2中的晶圆卸载至机械手l。