本章参考文献针对集束型装备的多批次连续加工,甚至批次规模不同的情况,R065-1AR331/471JA推导系统的吞吐量模型。多批次吞吐量理论模型的推导思路:先假设一批晶圆中只有一片晶圆,确定一个固定吞吐时间,然后推导出批次中每增加一片晶圆时所需时间的增加值,最后通过固定值、增加值和晶圆批次规模就可以推导出系统吞吐时间。应用该理论模型,可计算出Intel的CVD集束型装备的吞吐时间,最后证明模型推导结果与实际装备运行结果一致。对于多批次配方不同的加工方式,可以采用放慢因子(Slow D0wn Factors)来预测装备的行为,确定加工序列以达到优化的批次加工顺序[15,1刨。本章参考文献[17]不刂用时序图描述集束型装备加工腔体和机械手在稳态阶段的使用情况。根据建立的时序图,推导出装备稳态时加工约束与传输约束的边界条件,给出不同约束条件下装备的稳态加工过程的时序图,并推导出装备的吞吐量模型。