但是,如果要考虑所有的交互效应,代价巨大。以六因素,每因素两水平(即六步△艺,每I艺只有两个对照条件)为例,需要64个实验条件,这对于常规的I艺线已经难以承受。SGM8903YTS14G

   如果进一步分析,通常单因素的主效应和双因素的交互效应是重要的,其余高阶交互效应往往可以忽略,那么共有α+α=6+15=21个效应需要研究,只需要22个实验条件。如何定义这些实验条件是需要认真考虑的。

   先进制程的”eld learning对实验设计提出了很高要求.用尽量少的资源,尽量短的时间,得到有效的实验结果,指导下艺的改善。

   表17.3所示为一个常见的不好的实验设计方案。A步T艺的效应,容易被制程中某些工艺的wafer、时间累积效应混淆;而B步工艺的效应,容易被某些I艺的奇偶效应混淆。这样的实验设计,可能导致得到的结果不正确,甚至对后续工艺改善产生误导。

   表17.3 不好的实验设计方案