电子枪发射电子,经过聚焦后轰击在样品表面,激发出二次电子。二次电子的信号强度随样品表面特征而变,扫描系统在控制电子束扫描样品表面的同时,控制显示器的阴极射线管电子束在荧光屏上作同步扫描。SA5532AD二次电子的信号经检测放大后作为调制信号,同步调制阴极射线管的电子束强度,在荧光屏上获得能反映样品表面特征的扫描图像。

    sEM构造

   扫描电子显微镜由电子光学系统,扫描系统,信号检测放大系统,图像显示和记录系统,电源系统和真空系统等部分组成。

   电子光学系统:由电子枪,电磁聚光镜,光阑.样品室等部件组成。它的功能是获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源c为了获得较高的信号强度和扫描像(尤其是工次电子像)分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。场发射电子枪可提供最小的电子源直径(约5nm)和最高的亮度(lO8~l09A/cm2・sr),是高分辨率扫描电镜的理想电子源。用二次电子成像时,扫描电镜所能达到的分辨率极限就是样品表面束斑的直径。电磁聚光镜把电子枪发射的电子束进一步缩小,可以实现更高的分辨率,已经可以达到1A。