探针的定位与扫描需要非常高的尺寸精度,囚此扫描部件一般都使用压电陶瓷元件,在空间的XYz方向上各使用一个元件,可以实现探针的精确的移动控制。SA1117BH-5.0V

   作用力检测部分

   在原子力显微镜(AFM)的系统中,所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂(cantilevcr)来检测原子之问力的变化量。微悬臂通常由一个一般100~500um长和500nm~5um厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针 尖,用来检测样品与针尖间的相互作用力。这微小悬臂有一定的规格,例如长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状,而这些规格的选择是依照样品的特性以及操作模式的不同,而选择不同类型的探针。