扫描声学显微镜:叉称超声波扫描显微镜,是利用超声波脉冲探测样品内部空隙等缺陷的仪器。 SSL2101T超声波在介质中传输时,若遇到不同密度或弹性数的物质,会产生反射回波,而此种反射回波强度会因材料密度不同而有所差异。扫描声学显微镜(SAM)利用此特性,工作时,由电子开关控制的能在发射方式和接收方式之间交替换的超声传感器发出一定频率(1~500MHz)的超声波,经过声学透镜聚焦,由耦合介质传到样品上。声波脉冲透射进入样品内部并被样品内的某个接口反射形成回波,其往返的时间由接口到传感器的距离决定,回波由示波器显示,其显示的波形是样品不同接口的反射强度与时问的关系。在 SAM的图像中,与背景相比的衬度变化构成了重要的信息,在有空洞、裂缝、不良粘接和分层剥离的位置产生了高的衬度,因而容易从背景中区分出来。衬度的高度表现为回波脉冲的正负极性,其大小由组成接口的两种材料的声学阻抗系数决定,回波的极性和强度构成一幅能反映接口状态缺陷的超声图像。