15nm(X和Y方向的焦距差)以下的散光最低阶的是z2(X方向)、乙(Y方向)的非线性项(至少为2阶)。这种像差的存在会影响到整块曝光区域的共对焦深度(Depth ofocus,D()F),从而影响曝光区域内的线宽均匀性。UA7808C

   像差的测量可以通过很多方法,比如阿斯麦公司的硅片平台上的白带干涉仪(Ilias传感器),其原理就是通过在掩膜版对应曝光狭缝不同位置的地方设计小孔,这些小孔发出的球面波会在镜头的光瞳位置形成有不同倾角的平面波。如果镜头没有像差,那么这些平面波的相位分布是均匀的。然后再在硅片平台上还原为点状的像。Ilias传感器的探测器平面选在光瞳平面的共轭面上。为r探测相位,在此探测器中使用了错位干涉仪(latcralshcaring interferomcnter,义叫做剪切千涉仪)来探测在光瞳位置的相位非均匀性。另外,也可以通过使分析硅片曝光结果来推算出像差的情况,如约瑟夫・柯克(Joc Kirk)的工作3F Ⅱ`图7.79中使用的方法勹柯克的方法在原理L是一样的。