光助铜腐蚀(Pho1o Assisted Copper Corrosion,PACC)

   产品中的PN结在光子的照射下产生电子流动,使得Cu原子从P掺杂的连线转移到N掺杂的一端,QEDS-9864实现了这个PN结回路的导通,相当于一个太阳能电池,这就是所谓的光助铜腐蚀(PΛCC),见图ll.17和图11.18。在其他的金属抛光(如W CMP和GST CMP)中也会发生此现象。当此现象发生时,你会发现在某些固定的位置(都是P掺杂区域),部分金属神秘地消失了。这种缺陷可以通过在抛光和清洗时减少光的照射得到改善,所以,铜抛光机都有遮光系统(dark skin)。合理的产品图形设计是解决此问题最根本的方法。

   图1117 光助铜腐蚀原理图