批旋转喷淋清洗机(batch spray1ool)的典型代表是FSI公司的ZETA系列,如图9.23所示清洗室如同一个有顶盖密封的静止锅,中间和室壁装配有固定静止的液体喷柱, W180-52GT喷柱上从上到下有很多喷嘴,两个专用的PFA晶片盒置于PFA转盘上,并对称于中间喷柱,转盘转动最大可达500r/min。药液、纯水和氮气都可从喷柱喷出,药液配置在混合器里进行,比例由制程程序设定和精密流速控制器控制,红外线加热器可对药液在喷出前加热,溶液温度可由安装在室壁上的热感测定,便于制程优化。当制程开始,混合器配好的药液由喷柱喷向旋转晶片,在晶片上弥漫、流动,并被甩出,进入排出管,随后是纯水清洗和热的氮气干燥。使用的药液始终是新鲜的,没有循环使用带来金属污染和颗粒回粘的可能。

   批旋转喷淋清洗机的特点是:①化学品喷出后,不需要循环回收,直接排出,晶片上始终接触的是新鲜的药品,可消除浸泡式清洗常见的循环污染或药品功效降低的影响。②晶片处理、冲洗和干燥可在一个处理室一次完成,避免浸泡式清洗晶片在药槽、水槽和干燥槽之间转换的麻烦。③制程环境小,可精细控制。该机在CMOS金属硅化物形成清洗中,有独到的应用。