工艺模拟是通过计算机对集成电路制造过程中的物理过程进行模拟,能计算出器件内部的结构及杂质分布,如果能进一步把工艺模拟、 FGH40N65UFDTU器件模拟与电路模拟的结果相结合,就可以得到各个I艺步骤之后的器件性能及电路性能。反之,如果从器件性能的要求出发,设法找到一套合理的△艺步骤及工艺参数,对器件的开发和工艺开发意义也非常重大。集成电路工艺模拟系统就是根据给定的I艺条件,利用数值技术,求解由工艺模型所描述的微分方程或代数方程,从而实现对集成电路制造工艺过程的计算机仿真。在集成电路的新产品旰发和大规模生产的有力推动下,为满足对集成电路器件△艺的研究需要,I艺模拟技术和反映复杂T艺的模拟模型也飞快地发展起来,集成电路工艺汁算机模拟已成为集成电路丁艺开发的一种重要辅F勹手段。目前,比较成熟的集成电路工艺模拟系统是由美国斯坦福大学开发的SUPREM(S1ani}llU泳/e内”Process Engneehlg Modcls)系列集成电路lI艺模拟系统,随着集成电路I艺生产的发发而不断更新,至今已经先后有了四代产品。