真空系统主要包括多级真空泵、各种阀OP07DN门、检测不同真空度范围的各种真空规及管路。

   真空蒸镀工艺要求真空室基压在高真空度范围,通常在104Pa以上。要获得这样高 的真空度需要采用多级真空泵,最常采用一个机械泵和一个扩散泵的串联系统。机械泵是初级泵,多使用油封式旋转叶片泵,工作气压在常压至102Pa范围;扩散泵是次级泵,多使用靠“定向油蒸气流”来排出气体的油扩散泵,油扩散泵工作气压在10~10“h范围,在大气压和低真空度时不能使用,否则泵油会被氧化。

   真空规是用于测量真空度的仪表,不同的真空度范围用不同的真空规测量,蒸镀系统低真空度时常用热偶规测量,测试范围从常压至101Pa;高真空度时用电离规测量,测试范围为1O~101Pa。阀门和管路部分必须使用高真空专用阀门和管路,如真空室进气阀使用针孔阀等。