质谱分析法是另一种终点探测的方法,它还可以提供在刻蚀前后,刻蚀腔内成分的相关信息。这ICM7555CBAZ种方法是利用刻蚀腔壁上的洞来对等离子体中的物质成分进行取样,取得的中性粒子被电子束电离成离子,所得的离子再经过电磁场偏转,不同质量的离子偏转程度不同,因而可把离子分辨开,不同的离子可借助改变电磁场而收集到。当用在终点检测时,将电磁场固定在要观测或分析所需要的电磁场,观测计数的连续变化即可得知刻蚀终点。

   质谱分析法的限制如下:

   ①部分物质的质量/电荷比相同,如N、CC)、⒏等,使得检测同时拥有这些成分的刻蚀时无法判断刻蚀是否完成;

   ②取样的结果将影响刻蚀终点的探测;

   ③质谱分析设备不容易安装到各种刻蚀机上。