衬底情况是指进行蒸镀之前,必须对衬底硅片已进行完的△艺操作有所了解,掌握衬底耐温情况,OPA227P从而确定采取冷蒸还是热蒸。冷蒸是指衬底不加热的蒸镀方法,相应地,热蒸是指衬底加热的蒸镀方法。进行热蒸时,衬底加热温度不能超过其所能耐受温度。

   例如,以光刻剥离技术制备金属铂的薄膜图形,蒸镀前在衬底表面已有了光刻胶图形,蒸镀铂薄膜时,通常采取冷蒸方法,希望所蒸 镀的铂薄膜在光刻胶的台阶处断裂,以利于光刻胶剥离液从断裂口 浸人溶解胶膜,从而剥离去掉光刻胶顶的铂薄膜。图⒏16所示是光

刻剥离铂示意图。因为冷蒸方法薄膜台阶覆盖性不好而适于剥离I  (b)光刻胶溶解剥离艺,而且对衬底加热会增加胶中残余溶剂的进一步挥发,影响真空室 图⒏16 光刻剥离铂示意图的真空度,且过分干燥的胶膜也难以溶解剥离。