真空系统中的气体压力,即真空度可以用多种不同的真空计  图⒏6 涡轮分子泵剖视图(又称真空规)来测量。常用的真空计主要有电容压力计、 BCM5906MKMLG热偶规、电离规和复合真空计。

   (1)电容压力计属于机械类的规表,依靠待测真空室和参考容积之间的压力差异来产生机械上的偏移,电容压力计就是捕捉薄的金属隔膜的偏移。电容压力计无污染,与被测工艺气体种类无关,测量范围是低真空度。

   (2)热偶规是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,而元件的

温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。如图⒌7所示是热偶规构造原理图,恒定电流通过加热丝,使之加热,热的加热丝通过气体热传导对外散热,真空度越高气体散热越慢,加热丝温度也就越高;反之,温度就越低。用热电偶测出加热丝的温度,从而得出真空室的真空度。热偶规的测量范围是低、中真空度。

   (3)电离规又称热阴极电离计,由筒状收集极、栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子,离子被收集极收集,根据收集的离子流的大小来测量气体压强。热阴极在真空度低于102Pa的空气中可能被氧气氧化而熔断,因此电离规的测量范围是真空度高于102Pa的高、超高真空度。

   (4)复合真空计由热偶规与热阴极电离计组成,测量真空度范围从

正常大气压至105Pa。

   (5)⒊A规是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离计。收集极是一根细丝,放在栅网中心,灯丝放在栅网外面,因而可以减小软X射线影响,延伸测量下限,可测超高真空度。