微电子工业是飞速发展的高技术产业,其产品在各个领域得到广泛应用。近年来N79E342信息技术、计算机行业及家电产业之所以能取得如此巨大的成就,主要是得益于微电子工业的发展,特别是集成电路的发展。集成电路的发展水平已成为一个国家工业发展水平的标志。

   微电子产品主要是半导体分立器件和集成电路,集成电路是最主要的微电子产品,它们占整个微电子产品的90%以上。本书着重介绍集成电路制造技术的原理与工艺。在绪论中,仅就集成电路工艺的概念、发展历程、特点、主要用途,以及本书的内容结构加以介绍。

   何谓集成电路工艺

   所谓“工艺”,是指将原材料或半成品加工成产品的工作、方法和技术等。硅基微电子产品的生产过程示意图如图cl1所示。单晶硅锭被切割加工成硅片后,微电子芯片厂商从硅片开始,经过20~30个工艺步骤,在硅片上制造出各种集成电路或分立器件结构,然后对其进行测试、划片、封装,最后将成品测试(简称:成测)合格的微电子产品提供给用户。而当前,多数集成电路芯片生产企业只完成从硅片到在其上制造出集成电路结构的芯片加工部分,后期I作由专门的芯片测试和芯片封装厂商完成。