抛光液被认为是混合物。抛光液G160N60结合固体与液体浆料。固体不溶解，并且每种材料各自保留它们各自的特性。抛光液被用于抛光工序，如化学机械挞光( Chemical Mechanical Polishing，CMP)。典型加工抛光液有微细的硅土（玻璃）悬浮在弱碱性溶液中，如氢氧化铵。

   术语“离子”( ion)或“离子的”(ionic)经常在半导体工艺中使用。该术语指的是材料中任何电荷不平衡的原子或分子。离子是通过在元素或分子的化学符号后加上-个正号或负号的卜标（例如，Na+、CI）。举例来说，一个很严重的污染问题就是可移动的离子污染，比如钠(Na+)。当钠进入半导体材料或器件中，由于钠带正电荷而引起问题。但在某些工艺，如离子注入工艺中形成离子，如硼离子(B+)对完成工艺是很必要的。

   固体、液体和气体

   物质有4种状态：固体、液体、气体和等离子体（见图2. 16）。

   ·固体在常温常压下保持一定的形状和体积。

   ·液体有一定的体积但形状是变化的。一升水会与其容器形状一致。

   ·气体既无一定形状又无一定体积。它也会跟其容器形状一致，但跟液体不同之处是，它可扩展或压缩直至完全充满容器。

   特定物质的状态与其压力和温度关系很大。温度是对材料中

包含的所有能量的一种衡量。我们知道只需简单地改变其温度

和／或压力，水就可以在三种状态下存在（冰、液态水或水蒸气）。压力的影响更加复杂，超出了本文的讨论范围。

    等离子体    图2.16物质的4种状态

   第4种状态就是等离子体。恒星就是一个典型的例子，它当然不符合固体、液体或气体的定义。等离子体是高能电离原子或分子的集合，在工艺气体上施加高能射频( RF)场可以诱发等离子体。宦可用于半导体技术中促使气体混合物化学反应，它的一个优点就是它跟对流系统（如烤箱里的对流加热）相比，能量可以在较低的温度下传递。