气压表示为英磅每平方英寸( psia)，大气压或G20N60RUFD托(Torr)①。一个大气压就是在特定温度下包围地球的大气压力。这样，高压氧化系统在5个大气压下工作，其压力是大气压的5倍。

    空气的大气压为14.7 psia，在气缸中气压要用psig或英磅每平方英寸来表示。这意味着仪表的读数是绝对的，它并不包括外界的大气压。

   真空( vacuum)也是在半导体工艺中要遇到的术语和情况，它实际上是低压的情况。一般来说，压力低于标准大气压就认为是真空。真空条件是用压力单位来衡量的。

   低压倾向于用托来表示。这个单位是以意大利科学家托里切利( Torricelli)命名的，他存气体和其性质领域做出了很多重要发现。1托就是压力计中1毫米汞柱( manometer)所对应。

   想象当压力超过大气压时对压力计中水银柱的影响。当压力升高，在盘子里的水银受压而使水银柱升高。现在想象当气体从系统中抽走形成真空时会怎样只要有任何气体分子或原子在压力计中，施加在盘中的水银上的压力就会很小，从而水银柱就会升高一点点但很有限。水银柱变化是毫米( mm)级的，是与压力相关的，或者在这种隋况下是与真空有关的。

   蒸发、溅射和离子都工作在10娟~10卅托的真空（压力）。如果将其转换为只有一个简单压力计的真卒系统，这就意味着水银柱才0. 000 000 001（1×10棚）N0.00 000 1(1 x10'6)mm高，非常小的长度。在实践中，水银压力计是不能测量这么低的压力的，而是使用其他更灵敏的压力表。