调相式读数头。在直读式、分光式和镜像式读数头中，当主光栅相对移动一个栅距时，ICR18650-22FM输出信号幅度按正弦变化一个周期，因此测量精度取决于信号波形的正确性和一致性。尽管已证明在理想的实验条件下，采用上述调幅式光栅读数头能细分栅距成1000等份，但工程上和一般计量条件下，可靠的细分数只在20左右。由于这种原因，发展了相位制式光栅读数头。调相式光栅读数系统的工作原理，是基于光栅信号的相位与固定不变的基准信号作比较而进行测量的。因此在较差的工作条件下，也能测量出栅距的一个很小分数值。

    1、3一光电接收器；2-主光栅；4-基准光栅；5-析光镜；6、9、10-聚光镜；7-圆柱光栅；8-光源；

   11-椭圆反射镜；12-多边形反射镜；13 -反射棱镜。

   由光源8和聚光镜6形成平行光束，遁过析光镜5后分成两路。以一定速度旋转的圆柱光栅7的栅线，分别投影到主光栅2和基准光栅4上，形成不断移动的莫尔条纹。由于基准光栅4固定不动，而主光栅2随测量移动，所以在基准光栅4后面的光电接收器3，将输出相位不变的基准光电信号，该信号作为参考信号。在主光栅2后面的光电接收器1，将输出相位随主光栅移动而调制的光电信号，该信号作为测量信号。当主光栅每移动一个栅距时，在基准信号与调制信号间将有3600的相位变化。因此可以利用两者的相位差即比相原理进行光栅移动量的精密测量。