轮反光镜式光栅读数头的光路系统图。它的工作原理与转轮光栅调制型系统相类似。 ICR18650-22P主光栅2采用反射式光栅而基准光栅4为透射式光栅，它们都构成镜像式光路系统。多边形反射镜12以一定的速度转动，则光栅莫尔条纹在光电接收器上不断波动，因此光电接收器1、3分别输出主光栅的调相信号和基准光栅的参考信号。

   目前调相式光栅读数头的类型较多，它们都是应用比相原理设计的，不同之处仅在调制元件上。调相式光栅读数头的结构较复杂，但它可得到很大的细分数。例如基准信号与相位调制信号采用分辨率为0. 10的数字式相位计测量时，栅距的细分数可达3600。

   激光光斑中心检测在激光扫描三角法、激光准直仪、激光光斑分析仪等光学测量、检测手段中是一项关键技术，检测算法的精度、速度直接影响了光学测量的精度及速度。下面介绍常用的PSD定位和CCD光斑中心定位。