狭缝2的作用是只让(0，1)和(1，0)衍射光束通过，而阻挡其他各级衍射光，以提高ICP515161A输出信号的反差。为了消除两光栅之间间隙变化造成的测量误差，应使入射光束和出射光束对光栅成镜像对称，即满足p=一理最小偏差条件。由吁多衍射光束的影响可以通过狭缝2的作用而大为削弱，因此这种读数头可采用较大的光栅间隙。

   反射分光式光栅读数头的光路图。光源7发出的光束经聚光镜6成平行光束投影到分光棱镜8。当经过半透分光面时被分成CD和CE两束光照射到主光栅5的A和B两点。主光栅具有等腰三角形的刻槽，使光栅在自准直状态下工作。则最大强度的衍射光沿原路反射回分光棱镜8，此时两路光束在半透膜的C点相遇而发生干涉，衍射光产生的干涉条纹经聚光镜3后由光电接收器l所接收。在工作过程中，当光栅5移动Ac时，入射光束EB的光程将变化2BB．=2Acsin[3，则相应的位相变化为

    由此可知，当光栅移动△c时，两束相干光的值相差将变化为

    因为两束衍射光对光栅的法线对称。在这种情况，当光栅移动一个栅距时，相干光束的位相差将变化4×2耳，在视场中将有四个干涉条纹移过。

   在实际应用中，若光栅的刻划密度为600线对／mm，则移过一条干涉条纹时，相当于光栅移动△c=l／4×1／600=0.42斗m，所以这种分光式的读数头分辨率较高。