垂直结构设计及制备工艺
发布时间:2016/8/5 20:51:30 访问次数:697
垂直结构设计及制备工艺
垂直结构LED通过激光剥离工艺将GaN夕卜延层转移至si、cu等高热导率的导电衬底,JM20335-LGAA1C从而克服传统的蓝宝石衬底G瘀基LED在效率、散热、可靠性等方面存在技术瓶颈。典型的垂直结构芯片外观结构如图⒋34所示。
垂直结构设计及制备工艺
垂直结构LED通过激光剥离工艺将GaN夕卜延层转移至si、cu等高热导率的导电衬底,JM20335-LGAA1C从而克服传统的蓝宝石衬底G瘀基LED在效率、散热、可靠性等方面存在技术瓶颈。典型的垂直结构芯片外观结构如图⒋34所示。