与有源区晶格常数匹配的衬底材料
发布时间:2016/8/2 19:24:05 访问次数:535
与有源区晶格常数匹配的衬底材料。LED所有外延层厚度的总和通常只有数微米,AAT1277IUT-T1比头发丝的十分之一还要小,如此薄的材料在器件的制备过程中是很难操作的,因此,LED的外延结构通常生长在一定厚度的衬底上,衬底起着支撑作用。对衬底的要求是要与外延层材料的晶格常数尽可能匹配,以降低由于晶格失配引入的位错。在选取衬底时还要考虑是否容易制备以及成本问题。例如,蓝宝石是现代蓝光LED的通用衬底,由于其与外延层的晶格常数失配较大,成为限制蓝光LED亮度进一步提高的主要原因,虽然可用晶格常数匹配的GaN衬底提高器件性能,但目前G瘀衬底昂贵,限制了其在批量生产中的应用。
与有源区晶格常数匹配的衬底材料。LED所有外延层厚度的总和通常只有数微米,AAT1277IUT-T1比头发丝的十分之一还要小,如此薄的材料在器件的制备过程中是很难操作的,因此,LED的外延结构通常生长在一定厚度的衬底上,衬底起着支撑作用。对衬底的要求是要与外延层材料的晶格常数尽可能匹配,以降低由于晶格失配引入的位错。在选取衬底时还要考虑是否容易制备以及成本问题。例如,蓝宝石是现代蓝光LED的通用衬底,由于其与外延层的晶格常数失配较大,成为限制蓝光LED亮度进一步提高的主要原因,虽然可用晶格常数匹配的GaN衬底提高器件性能,但目前G瘀衬底昂贵,限制了其在批量生产中的应用。
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