衬底又称为支撑衬底,是外延层生长的基板,在LED的制备过程中起着支撑和固定的作用。BAS40-05-7-F最理想的衬底是外延层的同质材料衬底,其次是晶格匹配性能相近的衬底材料。

    对GaN基LED的外延生长而言,其同质GaN衬底是生长GaN外延层理想的衬底材料,但是GaN很难从自然界获得,也很难用传统晶体生长方法制取(C・aN熔点很高,达280O℃;其平衡蒸气压也很大,约4.5GPa)。因此,实际生产与科研活动中,一般使用其他晶体材料作为衬底。目前G洲基LED的外延生长多在蓝宝石、SC、⒐等异质衬底上进行。其中,以蓝宝石衬底(A1203)的使用最为普遍。6H―SC贝刂主要由美国科锐(Crcc)公司作为衬底应用于生产。si材料衬底,因其价格便宜且尺寸更大,也是被广泛研究和使用的衬底材料之一。而Zno与GaN晶格失配也比较小(4%),但是其缺点是高温稳定性很差,故其作为衬底的应用较为有限。表1~s列出部分衬底及其特性,为了便于比较,表中同时列出Ⅲ族氮化物的一些物理特性。