Mo源存储在不锈钢鼓泡瓶
发布时间:2016/7/28 21:35:58 访问次数:1138
Mo源存储在不锈钢鼓泡瓶(MO Bubb1er)中,多为液态,通过载气流经源瓶时将蒸发的蒸气携带到反应室。Mo源的供应流程一般从载气经MFC进入源瓶内的入口端开始,A1109AS-H-2R2N入口端会低于源瓶内的液面,这样通过载气鼓泡就可使Mo源有效蒸发,从源瓶内出气的瓶内端口会高出液面,以便充分通畅地带走己蒸发的Mo源蒸气。经压力控制计后,Mo 源会经RuⅣ吮nt阀组,运送到反应腔或直接到尾气系统。从Mo源瓶带出的气源有效量由流经Mo源瓶的载气流量、MO源瓶温度和瓶内压力决定。在实际生产中,从源瓶出口到反应腔入口处,会配置加热系统对管线进行加热,以避免源在管线中凝聚甚至阻塞管道。
Mo源存储在不锈钢鼓泡瓶(MO Bubb1er)中,多为液态,通过载气流经源瓶时将蒸发的蒸气携带到反应室。Mo源的供应流程一般从载气经MFC进入源瓶内的入口端开始,A1109AS-H-2R2N入口端会低于源瓶内的液面,这样通过载气鼓泡就可使Mo源有效蒸发,从源瓶内出气的瓶内端口会高出液面,以便充分通畅地带走己蒸发的Mo源蒸气。经压力控制计后,Mo 源会经RuⅣ吮nt阀组,运送到反应腔或直接到尾气系统。从Mo源瓶带出的气源有效量由流经Mo源瓶的载气流量、MO源瓶温度和瓶内压力决定。在实际生产中,从源瓶出口到反应腔入口处,会配置加热系统对管线进行加热,以避免源在管线中凝聚甚至阻塞管道。
相关技术资料- 7-28Mo源存储在不锈钢鼓泡瓶
- 4-5将某个模块设定为Coordinator
公网安备44030402000607
