进行电迁移效应试验时,金属铝的温度范围为150~3OO℃,金属铜的温度范围为250~400℃。 DSEC60-04A进行电迁移效应激活能参数的提取时,需要定好电流密度的值,分别在3个不同的温度点√冗、√马和√冗,坝刂量一批电迁移失效数据,在对数正态坐标上提取中位失效时间冗、%和%,在半对数坐标上画出中位失效时间冗、%和%与温度的倒数√石、√马和√兀的对应关系。该对应关系拟合曲线的率就是激活能尻,激活能的典型值一般在0,5~0.%V之间。

   恒定温度和恒定电流密度条件下,提取电流密度因子时,在3个不同的电流条件下,即山、J。、凡进行测量,保持温度π不变。加速应力下CMOs工艺金属化电迁移效应的失效时间如表11.13示。根据中位失效时间进行电迁移效应模型参数的提取,如图11.13所示。典型失效图形如图11.14所示。