宽度:封闭几何图形的内边之间的距离,由工艺(光刻)极限尺寸确定,如图8.2所示。

   长度:在同一个几何图形中的较长方向,从一边到另一边的距离,如 图8.3所示。

   间距:各几何图形外边界之间的距离,避免短ACE721CADJBN+H路,如图8.4所示。

最小延伸:在一个方向上,B层的图形交叠过A层的图形,在另外的方向则没有限制。最小距离是从A层外边到B层内边的距离,如图8.5所示。最小包含:图层A被图层B包含是指图层A在图层B的形状里面。4个方向上的最小距离均是指图层A的外边到图层B的内边的距离,如图8.6所示。最小交叠:最小交叠是指一种几何图形的内边界到另一几何图形的内边界长度,如图8,7所示,用于防止实际工艺偏差造成的开路或短路。