比较两个来自不同布线层的相同测试结构时,也许需要考虑焦耳热效应的影响, IXFZ12N90因为从测试结构的电流端到压焊块的电阻会导致测试线上焦耳热的产生。只要运用的算法清楚,就可以用做恒温测试的变量,不同的控制参数可能会产生不同的结果。可能的波动包括:减少初始恒定电流斜坡速率,达到要求的应力时采用不同参数来控制应力。除了要维持恒定功率输入,电流和电阻也需要保持恒定。

   TCR(r)的值可能随批次的不同而不同,甚至同一圆片内的TCR(r)也可能不同。虽然确定每个测试样品的TCRc)不是很实际,但TCRσ)变化的存在会影响测试结构上的温度值。因此建议在某一工艺过程中对选定样品的TCRlr)进行一定时间的观察,最好使用与试验中一样的结构。

   应力电流的归一化。恒温测试需尽量保持有效的恒定应力温度,但在一段时间内会产生电流的波动,因此直接比较ATTF值时,如果没有考虑应力电流的影响,则可能导致偏差。这个问题可通过测试完成后的归一化来解决.