氧化层生长的化学成分似乎对NBTI效应有着明显的影响,氧化气氛明显地影响了NBTI效应,湿氧比干氧有着更差的NBTI性能,但是氟改善了这种效应,F注入或F在栅氧中的浓度明显地改善了NBTI性能和1r噪声。OF400SA100D但是,必须小心地使用F注入,因为可能会出现一些有害的影响,比如增强硼穿通或使nMOs性能退化。硼会促进NBTI退化的发生。

   如前所述,氧化层介质电场对NBTI敏感度有明显的影响,埋沟器件减小了BTI效应,但不适用于先进的CMOs工艺。希望通过采用中间的功函数栅材料来减小NBTI敏感度,因为由于功函数的差别和由于平带电压的差别(低沟道掺杂浓度),氧化层电场将被减小。基于这些观点,采用全耗尽SC,I可以改善NBTI效应,因为它使用了低掺杂的沟道区,从而导致较低的栅氧化层的电场,进而改进了NBTI效应。