温湿度控制系统。半导体OP249GSZ-REEL7超净间的温湿度控制是个重点,其控制的效果直接影响生产的优良率。温度控制对操作员的舒适性和工艺控制都是很重要的,特别是在利用化学溶剂进行刻蚀和清洗的工艺时,化学反应会随温度的变化而不同。相对温度也是非常重要的工艺参数,尤其在光刻工艺中,如果湿度过大,晶圆表面太潮湿,会影响聚合物的结合,如果湿度过低,晶圆表面会产生静电,这些静电会在空气中吸附微粒。

   洁诤室的物质与供给。除了工艺化学品以外,加工晶圆还需要大量的其他物质与供给。这些物品须满足洁净度要求。记录单、表格和笔记本都需要采用无脱落表面的纸张或聚酯塑料制造。铅笔是不允许使用的,钢笔须是不能擦去字迹的。晶圆储存盒是由特殊的不产生微粒的物质制造的,运输车与反应管也是一样。车轮与设备不使用润滑油脂。在许多区域中,机械工具与工具箱要经过清洁,并存放在洁净室里。