显然，失效物理的具体目标是：

   1)失效机理的确认和它的检测方法；

   2)失效对策方法的研究和元器件可靠度的改善；

   3)取决于物理、AD1885JST化学或者数学失效模型的元器件、材料的特性变化和寿命的预测；

   4)加速寿命试验和强制老化试验等可靠性试验的开发；

   5)进行寿命质量的非砹坏预测，良品分选的非破坏试验和筛选技术等可靠性短期保证技术的确立；

   6)由设计、制造、检验的改进而促使元器件本身的高可靠化；

   7)装置、系统的可靠性、维修性、安全性的根本改善。

   失效物理是可靠性工程发展的必然结果，但是，失效物理的研究对象并不仅限于电子元器件。在电子设备中大约有20%以上是非电子元器件，它们具有机械方面的特性，其特性主要是：

   1)失效机理与时间有依赖关系（例如，疲劳、磨损等）；

   2)它们是非标准化的、小批量的。

   因此，对于非电子元器件要确知其可靠性将更加困难，关于失效物理分析技术的研究有助于这方面问题的解决。