图11.13 (a)所示为同轴式干涉轮廓仪的光路原理图。激光器1发出的已稳频的双纵模激光是偏振面相互垂直的线偏振光，分光器2将光束分为参考光束和干涉光束，AAT3242ITP-QY-T1其中参考光束通过与偏振方向成45。角放置的偏振片P45。以后，会聚到雪崩管3并转化为电信号，作为参考信号。干涉光束由平面镜5反射，再由方解石晶体6分为两束光，其中O光通过方解石晶体的中轴线聚焦于物镜9的后焦面，然后变为平行光束，它是干涉轮廓仪的参考臂。E光偏向方解石晶体6的左边，最后聚焦在试件表面成为测量光斑。由于透镜9和物镜11是可以更换的，所以试件表面上参考光斑的直径可以从O.l mm到2 mm变化。图11.13 (b)所示为光路的细部，当使用数值孔径为0.95的物镜时，测量光斑直径可小于或等于l um。当参考光斑的直径足够大时，参考臂已不受表面微小起伏变化的影响，而具有小到l岬测量光斑的测量臂则可检测被测表面轮廓的微小变化。相位计12接收来自4的测量信号和来自3的参考信号。测量信号中包含由轮廓变化引起的多普勒频移值Af。