经分光镜11透射的另一束光为对准光束，该光束经分光镜11透射后由如图11.10所示的位置入射到测量透镜6上，经测量透镜6会聚后，到达工件表面，AAT3238IJS-1.5-T1被工件表面散射，形成另一个与工件表面加工纹理方向垂直的散射带。这样，由测量光束形成的散射带和由对准光束形成的散射带相互平行，但是位于透镜光轴的两侧，如图11.11所示，这两条散射带是不会互相干扰的。测量光束形成的散射带通过测量透镜后成为平行光束，然后经由反射镜8反射到光电二极管接收阵列9上转换为电信号输出。对准光束形成的散射带经过孔径光阑5和反射镜10后也被光电二极管接收阵列接收并转换为电信号输出。由于这两条散射带在空间上相互平行，并且还有一定的距离，再加上孔径光阑5的作用，这两条散射带不会在光电二极管接收阵列9上相互重叠。另外，垂直入射的对准光束与光轴有一个偏心距，此外还有孔径光阑的作用，因此光路申基本上没有回光。