激光束在工件上的光斑图样
发布时间:2016/2/17 20:10:47 访问次数:647
随着散射角大小的变化,散射光强也变化,因为激光经工件表面反射后,其光能呈高斯分布。而光电池只能接收散射光带的平均值,要进一步提高仪器的分辨率,就要遵循“真实地反映反射光和散射光带的光能分布情况”这一原则。为此,采用了光电二极管线性阵列来作为光电传感器。但是这种方案对工件的放置位置有一定的要求,即加工纹理方向大致要与线性阵列光电传感器的轴向垂直,这是因为散射光带与试件的加工纹理方向垂直。
测量光束所在的平面大致与试件加工纹理方向平行,因此在工件表面上取一个平行于工件表面的剖面,如图11.12所示,】,方向垂直于工件加工纹理方向,X方向平行于工件加工纹理方向,如图所示,沿y轴方向在工件上取剖面A-A,y方向长度对应光斑
的弦长口,并沿Ⅳ轴方向取科(翻《口)。这就是激光束在工件表面上的光斑图样。从微观角度来说,这样一个剖面可以当怍具有不同光栅常数的反射光栅,显然,衍射光谱图样中的O级、±1级……依次沿y轴方向分布,即有散射光带与】,轴平行,因此射光带就与工件加工纹理方向垂直。显然,为了有效地接收散射光带,线性光电二极管阵列就应该与工件加工纹理方向垂直,这样就存在对准问题,如前所述,通过“光电对准”就可以解决了。
随着散射角大小的变化,散射光强也变化,因为激光经工件表面反射后,其光能呈高斯分布。而光电池只能接收散射光带的平均值,要进一步提高仪器的分辨率,就要遵循“真实地反映反射光和散射光带的光能分布情况”这一原则。为此,采用了光电二极管线性阵列来作为光电传感器。但是这种方案对工件的放置位置有一定的要求,即加工纹理方向大致要与线性阵列光电传感器的轴向垂直,这是因为散射光带与试件的加工纹理方向垂直。
测量光束所在的平面大致与试件加工纹理方向平行,因此在工件表面上取一个平行于工件表面的剖面,如图11.12所示,】,方向垂直于工件加工纹理方向,X方向平行于工件加工纹理方向,如图所示,沿y轴方向在工件上取剖面A-A,y方向长度对应光斑
的弦长口,并沿Ⅳ轴方向取科(翻《口)。这就是激光束在工件表面上的光斑图样。从微观角度来说,这样一个剖面可以当怍具有不同光栅常数的反射光栅,显然,衍射光谱图样中的O级、±1级……依次沿y轴方向分布,即有散射光带与】,轴平行,因此射光带就与工件加工纹理方向垂直。显然,为了有效地接收散射光带,线性光电二极管阵列就应该与工件加工纹理方向垂直,这样就存在对准问题,如前所述,通过“光电对准”就可以解决了。
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