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激光束在工件上的光斑图样

发布时间:2016/2/17 20:10:47 访问次数:647

   对准光束是为了实现工件的对准而设计的。只有当 AAT3242ITP-IP-T1被测表面位于测量透镜焦平面,且射镜10反射后由光电二极管阵列接收,对应光敏单元有最大的光电信号输出时,工件才对准了。即通过辨别反射光斑中心二极管的输出值是否为最大来确定工件是否对准。

   随着散射角大小的变化,散射光强也变化,因为激光经工件表面反射后,其光能呈高斯分布。而光电池只能接收散射光带的平均值,要进一步提高仪器的分辨率,就要遵循“真实地反映反射光和散射光带的光能分布情况”这一原则。为此,采用了光电二极管线性阵列来作为光电传感器。但是这种方案对工件的放置位置有一定的要求,即加工纹理方向大致要与线性阵列光电传感器的轴向垂直,这是因为散射光带与试件的加工纹理方向垂直。

   测量光束所在的平面大致与试件加工纹理方向平行,因此在工件表面上取一个平行于工件表面的剖面,如图11.12所示,】,方向垂直于工件加工纹理方向,X方向平行于工件加工纹理方向,如图所示,沿y轴方向在工件上取剖面A-A,y方向长度对应光斑

的弦长口,并沿Ⅳ轴方向取科(翻《口)。这就是激光束在工件表面上的光斑图样。从微观角度来说,这样一个剖面可以当怍具有不同光栅常数的反射光栅,显然,衍射光谱图样中的O级、±1级……依次沿y轴方向分布,即有散射光带与】,轴平行,因此射光带就与工件加工纹理方向垂直。显然,为了有效地接收散射光带,线性光电二极管阵列就应该与工件加工纹理方向垂直,这样就存在对准问题,如前所述,通过“光电对准”就可以解决了。

       

   对准光束是为了实现工件的对准而设计的。只有当 AAT3242ITP-IP-T1被测表面位于测量透镜焦平面,且射镜10反射后由光电二极管阵列接收,对应光敏单元有最大的光电信号输出时,工件才对准了。即通过辨别反射光斑中心二极管的输出值是否为最大来确定工件是否对准。

   随着散射角大小的变化,散射光强也变化,因为激光经工件表面反射后,其光能呈高斯分布。而光电池只能接收散射光带的平均值,要进一步提高仪器的分辨率,就要遵循“真实地反映反射光和散射光带的光能分布情况”这一原则。为此,采用了光电二极管线性阵列来作为光电传感器。但是这种方案对工件的放置位置有一定的要求,即加工纹理方向大致要与线性阵列光电传感器的轴向垂直,这是因为散射光带与试件的加工纹理方向垂直。

   测量光束所在的平面大致与试件加工纹理方向平行,因此在工件表面上取一个平行于工件表面的剖面,如图11.12所示,】,方向垂直于工件加工纹理方向,X方向平行于工件加工纹理方向,如图所示,沿y轴方向在工件上取剖面A-A,y方向长度对应光斑

的弦长口,并沿Ⅳ轴方向取科(翻《口)。这就是激光束在工件表面上的光斑图样。从微观角度来说,这样一个剖面可以当怍具有不同光栅常数的反射光栅,显然,衍射光谱图样中的O级、±1级……依次沿y轴方向分布,即有散射光带与】,轴平行,因此射光带就与工件加工纹理方向垂直。显然,为了有效地接收散射光带,线性光电二极管阵列就应该与工件加工纹理方向垂直,这样就存在对准问题,如前所述,通过“光电对准”就可以解决了。

       

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2-17激光束在工件上的光斑图样

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