SEC靶结构示意图
发布时间:2016/1/29 19:42:45 访问次数:1046
用SEC靶代替了硅靶。SEC靶采用低密度的二次电子发射性能良好的材料,其结构FDN339AN如图7.16所示。它由三层组成,厚约70 nm的Al203层起支撑作用,真空蒸涂到Al203层上的Al层厚度约为20~70 nm,作为导电信号板;低密度层厚约10~20 ym,它的密度仅为通常板密度的1%N2%。一般采用KCI制作低密度层,在约266 Pa的低压Ar气中把KCI蒸涂到Al层上,在形成纤维结构的低密度层中98%~99%的空间是真空,所以二次电子逸出到空间的概率
很大。
SEC靶的工作原理是:光学图像经移像部分转换成高能的光电子图像,在光电子的轰击下,二次电子导电靶产生大量的二次发射电子,这些电子在低密度的二次电子导电层内运动,部分电
子可以达到信号板,于是在靶的扫描面上建立起正的电势图像。当电子束扫描时,因靶面充电而从信号板取出信号。
二次电子导电摄像管的灵敏度高并具有长时间积累微弱信号的特点,因此可用于天文仪器、科研设备之中。
用SEC靶代替了硅靶。SEC靶采用低密度的二次电子发射性能良好的材料,其结构FDN339AN如图7.16所示。它由三层组成,厚约70 nm的Al203层起支撑作用,真空蒸涂到Al203层上的Al层厚度约为20~70 nm,作为导电信号板;低密度层厚约10~20 ym,它的密度仅为通常板密度的1%N2%。一般采用KCI制作低密度层,在约266 Pa的低压Ar气中把KCI蒸涂到Al层上,在形成纤维结构的低密度层中98%~99%的空间是真空,所以二次电子逸出到空间的概率
很大。
SEC靶的工作原理是:光学图像经移像部分转换成高能的光电子图像,在光电子的轰击下,二次电子导电靶产生大量的二次发射电子,这些电子在低密度的二次电子导电层内运动,部分电
子可以达到信号板,于是在靶的扫描面上建立起正的电势图像。当电子束扫描时,因靶面充电而从信号板取出信号。
二次电子导电摄像管的灵敏度高并具有长时间积累微弱信号的特点,因此可用于天文仪器、科研设备之中。
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