堆叠厚度和成分的评估
发布时间:2015/11/11 19:17:35 访问次数:755
随着各种材料的堆叠，REF102AP晶圆顶层变得越来越复杂。通过包括在淀积工艺中的监测晶圆，可以测量每种材料的厚度和成分。然而，它们在电路内和表面上的效果来自厚度和成分的组合。在线(in situ)确定这些参数的一种组合的机器是采用电子束和X射线谱（见图14. 32），．将电子束直接照射在叠层上，它依次打出X射线。在样品排放周围的一系列X射线谱仪分析这些射线。因为每种厚度和材料的组合产生一个独特的信号，在线计算机能进行分析和确定叠层的厚度和每种成分一20。
随着各种材料的堆叠，REF102AP晶圆顶层变得越来越复杂。通过包括在淀积工艺中的监测晶圆，可以测量每种材料的厚度和成分。然而，它们在电路内和表面上的效果来自厚度和成分的组合。在线(in situ)确定这些参数的一种组合的机器是采用电子束和X射线谱（见图14. 32），．将电子束直接照射在叠层上，它依次打出X射线。在样品排放周围的一系列X射线谱仪分析这些射线。因为每种厚度和材料的组合产生一个独特的信号，在线计算机能进行分析和确定叠层的厚度和每种成分一20。
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- 11-11堆叠厚度和成分的评估
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