二次离子质谱法
发布时间:2015/11/10 20:00:43 访问次数:1016
一个二次离子质谱( SIM)仪利用能从表面原子产生次离子的能量来轰击晶圆表面， IRF4905PBF它能探测结点区域的掺杂物此仪器在一层一层地去除表面甚至整个结点同时进行检测，当掺杂原子从光束中消失时就可以经过一定转换得到结深.
扫描电容显微镜
原f力移微镜( AFM)的一个功能是进行电容测量，因为一个掺杂层电容的变化反映了与结点的接近程度，所以它也能用于结深测最、其样品的准备和扩展电阻测试中的方法是一样的i
扫描电容湿微镜( SCM)提供了10 A的精度6，并可结合浓度形貌和结深测量技术用于皿微米结点中.
一个二次离子质谱( SIM)仪利用能从表面原子产生次离子的能量来轰击晶圆表面， IRF4905PBF它能探测结点区域的掺杂物此仪器在一层一层地去除表面甚至整个结点同时进行检测，当掺杂原子从光束中消失时就可以经过一定转换得到结深.
扫描电容显微镜
原f力移微镜( AFM)的一个功能是进行电容测量，因为一个掺杂层电容的变化反映了与结点的接近程度，所以它也能用于结深测最、其样品的准备和扩展电阻测试中的方法是一样的i
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公网安备44030402000607
