发生的化学庋应可以分为4种类型：高温分AD7549BQ解反应、还原反应、氧化反应和氮化反应（见图12.6）．，高温分解(pyrolysis)反应是仅受热量驱动的化学反应过程。还原反应(reduction)是分子和氢气的化学反应过程。氧化反应( oxidation)是原子或分子和氧气的化学反应过程，氮化反应（nitridation）是形成氮化硅的化学工艺过程。

   淀积薄膜的生长需要几个不同的阶段（见图12.7）。第一阶段是成核过程(nucleation)。该过程非常重要，并且与衬底的质量密切相关。起初，晶核在淀积了几个原子或分子的表面L形成。j然后，这些原子或分子形成许多个小岛，进而长成为较大的岛。在第i阶段，这砦岛向外扩散，最后形成连续的薄膜。薄膜长成特定的几百埃的阶段就是这样一个传输过程。传输过程的薄膜与最终的较厚的薄膜“体”有着不同的物理和化学性质1。

   在传输膜形成之后，薄膜体开始生长。人们设计出厂多种艺，用以形成下面的3种结构：非晶体、多晶体和单晶体（见图12.8）。这些术语已经在前面的章节中阐述过了。对工艺的设置不当和控制不良，将导致薄膜结构上的错误。例如，在晶圆上生长单晶外延膜，但在晶圆『：的氧化物未被去除干净的岛区，结果会在生长的薄膜当中生成多晶区域。