光学投影系统的分辨率由于镜头和光线波长的限制，已经接近极限。ADS7867IDBVR正是这两个极限因素的存在，使得光刻胶的反差阈值( contrast  threshold)也变得很重要，由于使用紫外线或深紫外线的能量大和曝光时间短，曝光波的能量强度有变化，使得光刻胶中的图像变得模糊。

   一种方法可以降低阈值，即反差增强层( CEL)，就是在光刻胶上面涂一层，该层最初对曝光辐射是不透明的（见图10. 37）。

   在曝光循环中，反差增强层变白（透明的），从而允许光线通过它进入下面的光刻胶。反差增强层在变成透明物质前，首先对高强度光线响应，实际上在变成透明物质前，等于保存了低强度光线。结果就是光刻胶接受均匀的高强度能量照射，使得分辨率提高。，可以将反差增强层想象成双层光刻胶系统中的七层光刻胶，在这上面薄层中形成图形。

   反差增强层在显影前被一种喷涂化学试剂除去，然后对晶圆进行常规的显影。具有1.0lim分辨能力的正胶通过反差增强层可以

做出0.5 ym的图形.