作为软烘焙加热源，EL5202IYZ微波具有红外线加热的优点，而且由于微波所带的能量更高，因此加热速度更快。软烘焙温度在1分钟内就完全可以达到。简短的时间适用于“载片器”软烘焙。旋转后，立刻将微波源导向晶圆，从而完成软烘焙（见图8. 38）。

    对于一定数量的工艺步骤，真空烘焙提供了几大优点。真空烘箱与  罔8. 38微波加热对流烘箱的构造相似，只不过是连接到一个真空源。真空对于蒸发过程特别有效，这是因为减小的压力有助于溶剂的蒸发，于是就减少了对温度的依赖。然而，对f软烘焙，晶圆必须加热到一个均衡的温度。由于在真空蜞箱中加热是靠热反应室内壁向晶圆辐射，由此就会产生一个问题。这种热传递方式有时被称为瞄准线式（line-of-sight），为r得到均匀性，每片晶圆都必须有各自对热源明确的瞄准线。在一个箱型真空烘箱中，排满了竖直夹持晶圆的承片器，这个条件就不能满足了，大多数真空烘箱所得到的温度均匀性都很差。，

   真空和均匀热板加热的益处可以通过内置式，单片晶圆热板系统来获得。图8. 39总结了各种不同的软烘焙方式。