每个炉管需要一定数量的不同气体来完成所要求的化学反应。在氧化反应的例子里，K5D5613ECM作为氧化剂的氧气和水蒸气已被详细论述过。几乎所有的炉管工艺都有通入氮气的能力。氮气用来在装片或卸片时防止意外氧化。在待机状态时，氮气一直在流过炉管。这些氮气流用于保持系统的洁净和维持之前建立的恒温区。

   每个工艺要求气体以一定的次序、压力、流量和时间流入炉管。用来调节气体的设备附着在炉管部分，称为气体柜( source cabinet)。还有个独立单元称为气体控制面板(gas control pan-l)或气体流量控制器(gas flow controller)．它连到每个炉管上。控制面板由电磁阀、压力表、质量流量计或流量计、过滤器和计时器组成。在最简单的系统里，气体控制器由手动阀和计时器组成。、在生产系统里，进入炉管的各种气体的先后次序和时间是由微处理器来控制的．工艺所需的气体被接到面板上。在操作时，计时器打开电磁阀门让所需的气体流入面板。压力由压力表来控制，进入炉管的流量由流量计或质量流量计控制。