热电偶紧靠着石英炉管和控制电源。它们把温度信号发回比例控制器， K4X51323PG-8GC60JR这样依次靠热辐射和热传导加热反应炉管。热辐射来源于炉丝的能量蒸发和炉管的反射。传导发生在炉丝和炉管接触处。控制器非常复杂，可以通过控制使得中央区( flat  zone)的温度精度达到±0.5℃，，对于一个在1000℃反应的工艺来讲，温度变化只有±0.05%。对于氧化工艺，晶圆被放在承载器中，置f恒温区( flat zone)，氧化气体进入石英炉管，在那里发生氧化反应。

   图7.16具有3个加热区的水平单炉管式反应炉的截面图

   生产中的石英反应炉是一个由7种不同部件组成的集成系统：

   1．反应室

   2．温度控制系统

   3．反应炉

   4．气体柜

   5．晶圆清洗台

   6．装片台

   7．工艺自动化

   水平石英炉管的一个缺点是在温度高于1200℃时炉管趋于破碎和下陷。破碎是一种退化( devitrification)并导致石英炉管表面的剥落掉到晶圆上。