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表面绝缘体

发布时间:2015/10/28 20:42:39 访问次数:503

   二氧化硅被归类为绝缘材料,K4H561638F-TCB3这意味着在正常情况下它不导电。当它用于电路或器件时,它们被称为绝缘体( insulator),作为绝缘体是二氧化硅扮演的一个重要角色。图7.3表示了一个晶圆的横截面,二氧化硅层的上面是一层金属导电层。氧化层使得金属层不会与下面的金属层短路,就像电线的绝缘材料保护电线不会短路一样。氧化层的这种能力要求氧化层必须是连续的,膜中不能有空洞或孔存在。

      

   氧化层必须足够厚,以避免感应( induction)现象的产生。感应产生于足够薄的金属层,以至于电荷在晶圆表面产生聚积效应。表面电荷可导致短路及不希望的电荷影响。足够厚的膜层可防止在晶圆表面感应产生电荷。绝大多数晶圆表面被覆盖了一层足够厚的氧化层来防止从金属层产生的感应,这被称为场氧化物( field oxide)。

   二氧化硅被归类为绝缘材料,K4H561638F-TCB3这意味着在正常情况下它不导电。当它用于电路或器件时,它们被称为绝缘体( insulator),作为绝缘体是二氧化硅扮演的一个重要角色。图7.3表示了一个晶圆的横截面,二氧化硅层的上面是一层金属导电层。氧化层使得金属层不会与下面的金属层短路,就像电线的绝缘材料保护电线不会短路一样。氧化层的这种能力要求氧化层必须是连续的,膜中不能有空洞或孔存在。

      

   氧化层必须足够厚,以避免感应( induction)现象的产生。感应产生于足够薄的金属层,以至于电荷在晶圆表面产生聚积效应。表面电荷可导致短路及不希望的电荷影响。足够厚的膜层可防止在晶圆表面感应产生电荷。绝大多数晶圆表面被覆盖了一层足够厚的氧化层来防止从金属层产生的感应,这被称为场氧化物( field oxide)。

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