由经验得出的法则是，充分的RT9167A-33GB冲洗要以流速为每分钟等于冲洗池体积的5倍流量（每分钟的水更换次数）持续冲洗至少5分钟（取决于晶圆的直径）。如果冲洗池的体积为3L.

   冲洗的时间长短是由测量排出冲洗池的水的电阻率决定的。

化学清洗液在冲洗的水中是带电的分子，它们的存在可由水的电

阻率推测。，如果进入冲洗池的水的电阻为18.2 Mfl的水平，那么 在清洗池的出E]处水的电阻为15~18.2 MQ说明晶圆已经清洗并 冲淋干净。由于清水冲洗至关重要，所以通常至少要进行两种蓦  图s．315絮行下流冲洗洗，而总的冲洗时间要设定为由电阻率测量而确定的最小冲洗卧间的2~5倍。通常在冲洗池出口处安装一个水电阻率测量表以不断地测量出口处水的电阻率，并在冲洗完成时给出信号。

   清洗机：水清洗效率是污染控制和生产成本的两个关键因素。平行式下流冲洗(见图5. 31)直接将清洗的水冲到晶圆上的通道，在清洗步骤使混合最小化。

   考虑到冲洗的有效性和节约用量水，泄放式冲洗无疑是一个引入注目的方法。系统的构成类似溢流式冲洗，但具有喷洒能力。晶圆被放置到干的冲洗槽中即刻用去离子水喷淋。当喷淋进行时，冲洗槽被水迅速充满。当水溢流至冲洗槽的顶端，其底部的一个活门开启，将水顷刻间排入泄放系统。这样的填满和泄放的过程反复几次直至晶圆被完全冲洗干净。