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静电放电损伤

发布时间:2015/6/25 21:11:47 访问次数:609

   微电子器件在加工生产、组装、储存及运输过程中,可能与带静电的容器、HCPL-M454测试设备及操作人员相接触,所带静电经过器件引线放电到地,使器件受到损伤或失效,这就叫静电放电电损伤( ESD)。它对各类器件都有损伤,而MOS器件特别敏感。

   静电的来源

   通常物体上所带正、负电荷相等而呈电中性,因某种原因使物体上电荷发生转移时,物体即变成带电体。所带电荷被绝缘体隔离起来不能与异性电荷相中和称为静电。静电产生的方法很多。最普通即两种物体相互摩擦(多次的紧密接触和分离过程)而带电;导体或电介质在静电场产生静电感应而带电,固体、流体及气体物质在相对运动、摩擦、挤压、研磨等过程中也可带电。人在活动过程中,衣服、鞋以及所戴用具均可因摩擦或解除一分离

过裎而产生静电。如穿塑料鞋在化纤地毯上行走时,人体静电电压可达近万伏(与当时空气的相对湿度有关)。静电电压U是由带电体所带电荷量Q与其对地电容cco=cu)而决定的。一般电荷量较小,但对地电容也很小,所以静电电位可以很高。静电的特征是电压高及电荷量小。


   微电子器件在加工生产、组装、储存及运输过程中,可能与带静电的容器、HCPL-M454测试设备及操作人员相接触,所带静电经过器件引线放电到地,使器件受到损伤或失效,这就叫静电放电电损伤( ESD)。它对各类器件都有损伤,而MOS器件特别敏感。

   静电的来源

   通常物体上所带正、负电荷相等而呈电中性,因某种原因使物体上电荷发生转移时,物体即变成带电体。所带电荷被绝缘体隔离起来不能与异性电荷相中和称为静电。静电产生的方法很多。最普通即两种物体相互摩擦(多次的紧密接触和分离过程)而带电;导体或电介质在静电场产生静电感应而带电,固体、流体及气体物质在相对运动、摩擦、挤压、研磨等过程中也可带电。人在活动过程中,衣服、鞋以及所戴用具均可因摩擦或解除一分离

过裎而产生静电。如穿塑料鞋在化纤地毯上行走时,人体静电电压可达近万伏(与当时空气的相对湿度有关)。静电电压U是由带电体所带电荷量Q与其对地电容cco=cu)而决定的。一般电荷量较小,但对地电容也很小,所以静电电位可以很高。静电的特征是电压高及电荷量小。


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6-25静电放电损伤

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