近几年来，随着新AT90S4414-8AI型纳米技术的发展，纳米材料或结构也逐步在红外传感器中获得了应用。例如，西班牙纳米光子技术中心在使用单分子自组装层功能化的Si衬底上制作Au纳米盘结构，实现了对红辐射的探测；该金属纳米结构对红外线表现出很强的等离子体共振，从而提升了探测器的敏感度。

   据2008年11月1日美国《MIT技术评论》消息报道，硅因为具有吸收光线、产生电流的能力，所以是制作光传感器和太阳能电池的材料。可是大约有一半的红色光与大部分红外线会穿过硅片，不会图84韩国LG公司制作，应用于NDIR气体传感器被吸收。但在一次偶然的实验过程中发现了一种新型材料黑硅，即在硅片的表面进行一系列的处理，形成一层黑色的物质，这种黑色的物质具体形貌呈锥状森林结构‘62-64。通过测试发现这种黑硅结构对于可见光和部分短波红外光有很强的吸收能力，而且制作工艺简单，因此，在国内外迅速成为研究热点。图8-5所示为黑硅相关资料的图片，其中图8-5a为黑硅实物照片，图8-5b为原子力扫描电镜黑硅结构照片，图8-5c为红外吸收测试结果曲线。

   图8-5黑硅相关资料图片

   a)黑硅实物图b）原子力扫描电镜黑硅结构c）红外吸收测试结果