多层PZT/PT薄膜的结构
发布时间:2015/6/11 21:00:40 访问次数:795
在本书中，CNB1001不对其具体材料作详细的研究，而是遁过分析对比目前的一些研究成果，设计组合PZT和PT薄膜成串的多层薄膜结构，来研究其制备为热释电探测器应用的性能，其组合的研究方式如图3-8所示。在图3-8中，描述了三种结构：单一的PZT薄膜(11PZT)、PT/PZT/—/PZT/PT( 2PT/9PZT)多层薄膜、PT/PZT~ PZT/PT (6PT/5PZT)多层薄膜。可以通过SEM测试、拉曼光谱测试和XRD测试来分析三种薄膜的微结构和性能，然后寻找具有较好的表面致密性、较好的结晶性能和较小的残余应力的薄膜为红外探测器敏感元件所应用。
在本书中，CNB1001不对其具体材料作详细的研究，而是遁过分析对比目前的一些研究成果，设计组合PZT和PT薄膜成串的多层薄膜结构，来研究其制备为热释电探测器应用的性能，其组合的研究方式如图3-8所示。在图3-8中，描述了三种结构：单一的PZT薄膜(11PZT)、PT/PZT/—/PZT/PT( 2PT/9PZT)多层薄膜、PT/PZT~ PZT/PT (6PT/5PZT)多层薄膜。可以通过SEM测试、拉曼光谱测试和XRD测试来分析三种薄膜的微结构和性能，然后寻找具有较好的表面致密性、较好的结晶性能和较小的残余应力的薄膜为红外探测器敏感元件所应用。
上一篇：多层薄膜的组合结构设计
上一篇：多层薄膜的制备
相关技术资料- 6-11多层PZT/PT薄膜的结构
- 相关IC型号
- CNB1001
- CNB10010RL
热门点击
公网安备44030402000607
