选择三水醋酸铅( Pb( CH3C00)2-3H20）、异丙氧基钛(Ti( OC4H9)4)、乙酰丙酮、CNB10010WL乙酰基丙酮酸锆( Zr( OC4H9)。)作为制备薄膜的初始材料，选择乙酰丙酮作为一种熬合剂，乙二醇醚作为一种溶剂。其固态前驱物的制备工艺步骤：

   (1)使异丙氧基钛和乙酰丙醐按1：l的摩尔比混合，为了达到均匀性的目的，对于其混合物用磁力搅拌器在室温下搅拌2h以上；

   (2)往其混合物中添加三水醋酸铅，并使温度升高至124℃，保持lOmin，使它们完全反应，然后去除里面的结晶水，其中10%的过量的三水醋酸铅被加入是为了补偿因加热而导致挥发的铅损耗；

   (3)把所得到的混合物分成两份，一份是为了制备PT固溶胶用，而另一份则在80CC温度下再加入乙酰基丙酮酸锆，然后把这两部分混合物的温度升高到130℃，其混合物分别被过滤并干燥2h，然后冷却至室温；

   (4)最后在80C条件下减压、蒸馏，最终获得淡黄色的干溶胶。

   通过上述步骤，获得了制备PT薄膜和PZT薄膜的两种固溶胶。采取其浓度比例为20%，溶解这种固溶胶到乙二醇醚中，最终获得制备薄膜的溶胶。净置一段时间后，这种溶胶被用来制备热释电薄膜。净置后的溶胶被旋涂在Pt—Ti-Si3 N4 -Si02 -Si基底上，其基底每层的厚度分别为150nm，80nm，150nm，500nm，500pm。