光轴的调整是干涉测量系统中的重要问题。所谓光AT28C256-15PU轴的调整是指测量光束应与主机z、y运动方向的平行度的调整。由于采用五角棱镜，石、y的运动垂直度可由棱镜的加工精度保证，只要调整一个运动方向即可，提升棱镜（两块直角棱镜5，8）的结构设有

微调结构，调好后锁紧即可保证工作稳定。

   果用兰姆下陷法进行稳频。

   例4 -2  电子束曝光机的激光干涉系统。

   图4。-33是中国科学院光电技术研究所研制的电子束曝光机中的激光干涉定位测量系统的光路图。它与自动分步重复照相机中的光路不同，其特点是：

   ①采用扩束系统。

   ②组合干涉析光镜。

   ③普诺棱镜。

   ④光电倍增管作为接收元件。

   ⑤用对准器来保证更换激光器时，不必调整干涉仪。